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PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好,是前期驗(yàn)證微流控實(shí)驗(yàn)的絕佳芯片解決方案.此芯片加工系統(tǒng)支持定制。我們提供PDMS芯片加工實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)與搭建的一站式服務(wù),從潔凈間設(shè)計(jì)到實(shí)驗(yàn)室布局,再到設(shè)備選擇,以及您采購后的安裝調(diào)試及培訓(xùn),您只需要提出需求,我們可以做到交鑰匙工程。當(dāng)然,系統(tǒng)里的每個(gè)模塊也支持單獨(dú)售賣,您可以根據(jù)自己需求挑選設(shè)備。
PDMS芯片制作工藝一般包含以下步驟:① 清洗;② 勻膠;③ 曝光光刻;④ 顯影;⑤ 烤膠;⑥ PDMS成型;⑦ 等離子表面活化處理;⑧ 鍵合;⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系統(tǒng)可以順利完成以上所有流程。
PDMS芯片制作
項(xiàng)目
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參數(shù)
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適用芯片
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PDMS芯片制作
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最小結(jié)構(gòu)分辨率
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2um
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處理基板尺寸
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4”(φ10cm)
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工藝及設(shè)備對(duì)應(yīng)表格:
工藝名稱
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設(shè)備儀器名稱
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型號(hào)
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清洗
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等離子清洗機(jī)
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CUTE
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超聲清洗機(jī)
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市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
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勻膠
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勻膠顯影機(jī)
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SC100
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PDMS成型機(jī)
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ZentriForm
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曝光光刻(2選1)
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曝光機(jī)
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UV-KUB 2
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UV-KUB 3
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顯影(2選1)
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勻膠顯影機(jī)
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SC100
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簡(jiǎn)易顯影池
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客戶自備
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烤膠
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精密熱板
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HP100
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PDMS成型(2選1)
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PDMS成型機(jī)
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ZentriForm
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培養(yǎng)皿/熱板
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客戶自備培養(yǎng)皿/HP100
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表面活化處理
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等離子清洗機(jī)
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CUTE
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鍵合
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精密熱板
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HP100
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打孔
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打孔器
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PDMS Port Creator
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打孔針
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市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
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