微流控芯片PDMS微流控芯片加工系統(tǒng) EasyPDMS

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微流控芯片PDMS微流控芯片加工系統(tǒng) EasyPDMS

圖片

簡(jiǎn)介

PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好,是前期驗(yàn)證微流控實(shí)驗(yàn)的絕佳芯片解決方案.此芯片加工系統(tǒng)支持定制。我們提供PDMS芯片加工實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)與搭建的一站式服務(wù),從潔凈間設(shè)計(jì)到實(shí)驗(yàn)室布局,再到設(shè)備選擇,以及您采購后的安裝調(diào)試及培訓(xùn),您只需要提出需求,我們可以做到交鑰匙工程。當(dāng)然,系統(tǒng)里的每個(gè)模塊也支持單獨(dú)售賣,您可以根據(jù)自己需求挑選設(shè)備。


功能圖解

PDMS芯片制作工藝一般包含以下步驟:① 清洗;② 勻膠;③ 曝光光刻;④ 顯影;⑤ 烤膠;⑥ PDMS成型;⑦ 等離子表面活化處理;⑧ 鍵合;⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系統(tǒng)可以順利完成以上所有流程。


應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目
參數(shù)
適用芯片
PDMS芯片制作
最小結(jié)構(gòu)分辨率
2um
處理基板尺寸
4”(φ10cm)


工藝及設(shè)備對(duì)應(yīng)表格:


工藝名稱
設(shè)備儀器名稱
型號(hào)
清洗
等離子清洗機(jī)
CUTE

超聲清洗機(jī)
市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
勻膠
勻膠顯影機(jī)
SC100

PDMS成型機(jī)
ZentriForm
曝光光刻(2選1)
曝光機(jī)
UV-KUB 2


UV-KUB 3
顯影(2選1)
勻膠顯影機(jī)
SC100

簡(jiǎn)易顯影池
客戶自備
烤膠
精密熱板
HP100
PDMS成型(2選1)
PDMS成型機(jī)
ZentriForm

培養(yǎng)皿/熱板
客戶自備培養(yǎng)皿/HP100
表面活化處理
等離子清洗機(jī)
CUTE
鍵合
精密熱板
HP100
打孔
打孔器
PDMS Port Creator

打孔針
市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)



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